生产工艺决定洁净室对温湿度的控制。在满足加工工艺的条件下，应首先考虑到人的舒适感，人体出汗以后，对产品会产生污染，比如怕钠的半导体生产。

不同行业，因其不同的生产工艺、原材料特性、人员参与数量和地区差异，相对应不同的洁净室温湿度标准，具体如列表：